DLC dijamantski premaz je metastanski amorfni tanki film koji ima visokokvalitetne karakteristike dijamanta i grafita, te ima prednosti dobrog tvrdoće, termičke provodljivosti, niskog troefikasa za trenje, visoku hemijsku stabilnost, itd., I široko se koristi u proizvodnji strojeva, biomedicini, elektroničkoj opremi i drugim poljima. DLC premaz uglavnom se priprema fizičkom metodom faze pare faze i metodom akumulacije hemijske pare, a proizvodi se posebnom akumulacijskom opremom. Slijedi kratak uvod u pet dijelova koji čine opremu za talovanje premaza.
1. Sustav za hlađenje grijanja i vode
Sustav grijanja i vodovodni sustav ravnomjerno se distribuiraju oko akumulacijske sobe, a temperatura grijanja, brzina i vode za vodu su kontroliraju i podesivi, a odgovarajući alarmni uređaj je instaliran; Rotirajuće sustav nalazi se na dnu komore za akumulaciju i izolirano je izolacijskom keramikom, a brzina rotacije je kontrolirana i podesiva.
2. Vakuumski sistem
Vakuumski sistem sastoji se od mehaničke pumpe, korijene pumpe, difuzijske pumpe i odgovarajućih upravljačkih ventila i mjernih elemenata koji se mogu slobodno prebaciti između visokog i niskog vakuuma u skladu s postupcima.
3. Sustav opskrbe plinom
Sistem opskrbe plinom postavlja se na vrh akumulacijskog vijeća, a plinske sorte uključuju H2, N2, AR, CHA, C2H2 i plin koji sadrži SI, a dva sučelja rezerviraju se na vrhu akumulacijskog vijeća kako bi se olakšalo dodavanje drugih sorti gasova u budućnosti.
Da bi se dobio tranzicijski sloj koji sadrži SI, SIH4 se obično koristi kao materijalni plin, ali SIH4 je opasniji, pa biramo manje opasan plin koji sadrže SI u prevlaci.
4. Target Sistem za slaganje
Oprema ima dvije jedinice za slaganje, PVD i PCVD, nakupljanja PCVD jedinice (DLC), Izabrano napajanje je, nakon podešavanja parametara, a istovremeno se može prikupiti i istovremeno, a istovremeno, nakon podešavanja načina učitavanja radnog stakla može biti i režim učitavanja premazan na složenom radnom komadu; Primarne namjere PVD jedinice su: (1) za različite suphrane, mogu se razviti različite ciljeve različitih ciljeva, a mogu se razviti različiti ljepljivi slojevi ili metal-dopirani DLC premazi koji sadrže različite sorte elemenata; (2) Nakon zamjene cilja, može se formirati razni kompozitni premazi "funkcionalnog sloja + DLC" za različite kategorije.
5. Električni upravljački sistem
Sistem električne kontrole prihvaća PLC potpunu aktivnu kontrolu, uključujući računar za programiranje domaćina, kontrola napajanja, regulatore za regulaciju temperature, kontrola temperature, itd. Prije sučelja za oblaganje, a potreban proces se naziva kada se peć otvori, a oprema će se aktivno upravljati i nadgleda se u realnom vremenu. Ako postoji problem, uređaj će preuzeti inicijativu za alarm, a prema nivou alarma, uređaj će odabrati stanje "Čekanje" ili se zaustaviti direktno i nastaviti s radom nakon što se alarm eliminira. Operativni zapisi i alarmni zapisi o svakoj peći aktivno se čuvaju u računaru za jednostavnu referencu. Prema zahtjevima, oprema se može promijeniti u potpuno ručni rad, a parametri premaza mogu se prilagoditi u glavnom operacijskom sučelju tokom procesa premaza.