U modernom procesu proizvodnje poluvodiča, wafer roboti, kao jedna od ključnih opreme, igraju vitalnu ulogu. Roboti za pločice se uglavnom koriste za rukovanje, sortiranje i obradu pločica, a njihova tačnost i efikasnost direktno utiču na ukupnu efikasnost i prinos proizvodnje poluprovodnika. Struktura i princip rada wafer robota su sljedeći:
Struktura
1. Robotska ruka: Robotska ruka wafer robota obično je dizajnirana s više osa kako bi se postigao visoki stupanj slobode kretanja. Uobičajene vrste robotskih ruku uključuju SCARA i kartezijanske robote.
2. Krajnji efektor: Ovo je dio koji direktno dolazi u kontakt i hvata pločicu, obično dizajniran kao vakuumski usisivač ili mehaničko pričvršćenje kako bi se osiguralo da je pločica stabilna i da se ne ošteti tokom rukovanja.
3. Sistem kontrole kretanja: uključujući servo motor i pogon, koji se koristi za kontrolu kretanja robotske ruke kako bi se osiguralo precizno pozicioniranje i nesmetan rad.
4. Senzor: koristi se za otkrivanje položaja, veličine i statusa pločice, uobičajeni tipovi senzora uključuju fotoelektrične senzore i laserske senzore.
5. Upravljački sistem: uključujući kontroler i softver za programiranje i kontrolu rada robota. Kontrolni sistemi često integrišu napredne algoritme kako bi omogućili optimalno planiranje putanje i ispravljanje grešaka.
Kako radi
1.Inicijalizacija i pozicioniranje: Robot određuje položaj sebe i ciljne pločice putem senzora. Upravljački sistem inicijalizira položaj robotske ruke i priprema je za obavljanje zadatka rukovanja.
2. Uhvatite pločicu: Prema uputama kontrolnog sistema, robotska ruka se pomiče u položaj gdje se nalazi oblatna. Krajnji efekt hvata pločicu kroz vakuumsku usisnu čašu ili mehaničku hvataljku kako bi se osiguralo da je pločica stabilna i da nije oštećena.
3. Rukovanje pločicama: Robotska ruka transportuje pločicu do ciljane lokacije duž unaprijed određene putanje. Tokom ovog procesa, sistem kontrole pokreta osigurava da se robotska ruka kreće glatko i da pločica nije izložena udarcima ili vibracijama.
4. Postavljanje pločice: Robotska ruka će postaviti pločicu precizno na ciljnu poziciju, a krajnji efektor će olabaviti pločicu kako bi dovršio zadatak rukovanja.
5. Povratak u početni položaj: robotska ruka se vraća u početni položaj i spremna je za obavljanje sljedećeg zadatka rukovanja.
U zaključku, wafer roboti igraju vitalnu ulogu u proizvodnji poluvodiča, a njihova visoka preciznost i efikasnost čine ih nezamjenjivom opremom u procesu proizvodnje poluvodiča.
